Facilitate de micro nanofabricaţie (IMT-MINAFAB)

Cuvinte cheie

 Microelectronica, nanoelectronica,  microsenzori, microsisteme, materiale avansate, caracterizare microfizica

Domenii cheie de expertiză, capabilități, competențe - descriere laborator

IMT- MINAFAB reprezintă o platforma multidisciplinară dedicată atât cercetării, educaţiei cât și inovării.

Facilitățile experimentale permit parcurgerea ciclului de cercetare începând de laproiectare până la realizarea unui demonstrator, model experimental, prototip.

Tip de servicii

Servicii  de procesare structuriMEMS: DRIE, RIE, corodari umede

Servicii depuneri de straturi subtiri  pentru  materiale metalice si dielectrice prin diferite tehnici: LPCVD,  PECVD, RF sputtering, E-Beam

Servicii procese termice de oxidare  si difuzii  bor si fosfor; RTP

Servicii de caracterizare microfizica si la scara nano

Servicii de incapsulare dispozitive microelectronice/microsenzori.

Descrierea serviciilor oferite de laborator

Categoriile principale de servicii oferite sunt: servicii tehnologice pentru dezvoltarea de micro-nano dispozitive, microsenzori  și sisteme: proiectare, caracterizare microfizica pentru micro- și nanostructuri; servicii complexe de cercetare/dezvoltare/ inovare.

Depuneri fizice- straturi metalice si oxizi metalici

Depuneri chimice - SiO_xNy, Si₃N₄,SiN_x, polisiliciu, SiO₂,

Corodari uscate: DRIE, RIE

Caracterizare microfizica:  FEG-SEM, AFM, SNOM, X-ray, spectroscopie  Raman, WLI, FTIR, nanoindentare;  Asamblare/incapsulare: Trasare plachete, sudura structuri, fire (wire bonding).

Ministere, autorități publice locale și centrale care pot fi incluse în categoria de beneficiari / utilizatori

Ministerul Comunicațiilor și pentru Societatea Informaţională; Ministerul Apărării Naţionale; Ministerul Dezvoltării Regionale Și Administrației Publice; Ministrul Energiei; Ministerul Educaţiei Naţionale și Cercetării Științifice; Ministerul Mediului, Apelor și Pădurilor; Ministerul Sănătăţii; Ministerul Transporturilor; Ministerul Economiei, Comerțului și Relațiilor cu Mediul de Afaceri

Certificări/ Autorizări/ Acreditări  deținute de laborator

Servicii de cercetare cu certificare în conformitate cu SR EN ISO 9001:2008, acordata de  TÜV Thüringen e.V., din iunie 2011. recertificat in 2014, certificat nr. TIC 11 100 117530 cu raport de audit nr. 3330N 2SPE D0 / 21.07.2014.

Datele de contact (telefon, fax, email,

înregistrare ERRIS - adresa website

INCD pentru Microtehnologie-IMT Bucuresti
Str. Erou Iancu Nicolae 126A, Voluntari, Bucureşti, ROMÂNIA;  http//:www.imt.ro

Tel: +40-21.269.07.77; +40-21.269.07.70;
Fax: +40-21.269.07.72: +40-21.269.07.76
office@imt.ro;

Adresa ERRIS: www.erris.gov.ro/MINAFAB

Website: http://www.imt.ro/MINAFAB/